具体行政行为是否违法，主要从以下5点进行判断：

1.主体违法

主体违法，又称为主体越权，是指行政机关超越法定权力范围、限度而作出超越自己行政职权范围的行政行为。

2.事实依据违法

主要包括：

（1）事实不清、证据不足；

（2）依据不真实的证据作出具体行政行为；

（3）依据没有关联性的证据作出的具体行政行为；

（4）依据刑讯逼供等非法手段获取证据作出具体行政行为。

3.适用法律依据违法

主要包括：

（1）将行为人合法的行为认定为违法行为；

（2）应适用甲法，却适用了乙法；

（3）应适用甲法的某些条款，却适用了甲法的其他条款；

（4）适用了尚未生效或已经失效的法律、法规；

（5）适用了被处理行为地以外的地方性法规及地方性规章。

4.违反法定程序

程序是行政主体在开展行政活动时所遵守的步骤、顺序、方式与时限。法定程序赋予这些方法和形式以权利义务的法律属性，要求行政机关行使职权时必须遵守，这成为判断行政行为是否正确合法的重要标准。比如，工作人员应当回避没有回避，行政处罚不该适用简易程序处罚却适用了简易程序，超过法定期限作出行政行为等。

5.明显不合理

又称为显失公正、滥用职权，均指行政机关在行使行政裁量时明显违背了正常人的理性，明显超越了合理性的界限。滥用职权与明显不合理为一体两面，滥用职权侧重于客观层面，明显不合理侧重于主观层面，均为行为违法的表现 ，本质上均指行政机关行使行政裁量作出的具体行政行为明显逾越了合理性的限度，构成了对法定职权的恣意行使。此时，需要特别注意的是，立法者认为当不合理到了明显程度的时候，就不再是不合理，而质变成了违法。

以上五个要素均符合法律要求，具体行政行为才是合法的；反之，任一要素违法，均构成了违法。